南京台式氦质谱检漏仪原理

氦质谱检漏仪开机步骤：1、将总电源转到“前级泵”，低真空表头指示值应从左向右逐渐上升至2~15Pa，开抽速阀，开漏孔开关，表头示值也应能抽到原来位置，再关抽速阀。2、将总电源转到“扩散泵”，灯亮，扩散泵开始加热。3、等20分钟左右，扩散泵排气管应热，开冷规开关，戴表压强的质谱室表头指针应从左打向右(即冷规已激发)再关冷规。4、开抽速阀，过几分钟后开冷规，表头指针应从左打向右，再从右向左逐渐上升(真空示值在1×10-2Pa以下请不要长时间开冷规，可等一会儿再开)，当真空示值超过1×10-2Pa后，可启动灯丝，灯亮，“发射电流”有指示，开、关漏孔检查氦质谱检漏仪灵敏度(可调加速电压使信号指示Zda)，灵敏度达要求后关漏孔。5、将工件用外接泵抽上真空后，开节流阀至冷规指示值为5×10-3~1×10-2Pa之间，对被检件喷氦检漏。检漏完毕。氦质谱检漏仪捡漏方法基本上可分为用氦气内部加压法和设备内部抽真空外部施氦这两种。南京台式氦质谱检漏仪原理

氦质谱检漏仪背压法原理：采用背压法检漏时，首先将被检产品置于高压的氦气室中，浸泡数小时或数天，如果被检产品表面有漏孔，氦气便通过漏孔压入被检产品内部密封腔中，使内部密封腔中氦分压力上升。然后取出被检产品，将表面的残余氦气吹除后再将被检产品放入与检漏仪相连的真空容器内，被检产品内部密封腔内的氦气会通过漏孔泄漏到真空容器，再进入氦质谱检漏仪，从而实现被检产品总漏率测量。检漏仪给出的漏率值为测量漏率，需要通过换算公式计算出被检产品的等效标准漏率。背压法的优点是检测灵敏度高，能实现小型密封容器产品的泄漏检测，可以进行批量化检测。南京台式氦质谱检漏仪原理氦质谱检漏仪是一种用氦气作为示漏气体进行泄漏检测的专门使用仪器。

氦质谱检漏仪技术是真空检漏领域里不可缺少的一种技术，由于检漏效率高，简便易操作，仪器反应灵敏，精度高，不易受其他气体的干扰，在电阻炉检漏中得到了普遍应用。氦质谱检漏仪是根据质谱学原理，用氦气作示漏气体制成的气密性检测仪器。由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成。质谱室里的灯丝发射出来的电子，在室内来回地振荡，并与室内气体和经漏孔进入室内的氦气相互碰撞使其电离成正离子，这些氦离子在加速电场作用下进入磁场，由于洛伦兹力作用产生偏转，形成圆弧形轨道，改变加速电压可使不同质量的离子通过磁场和接收缝到达接收极而被检测。喷氦法、吸氦法是氦质谱检漏仪在电阻炉检漏中较常用的两种方法。

氦质谱检漏仪在压力容器中喷氦法检漏应该注意以下几个问题：1、实际的检漏灵敏度比理论计算值低，一是由于喷口所喷出的氦气流是散开的，故掺有一定数量的空气，使氦气的浓度有所降低。二是喷口喷出的气流的方向不可能完全对准漏孔的方向，此外、在凹缺处所存在的空气会使得进入漏孔的氦气浓度降低。2、检漏次序：从被检件物体的上方至下方，由检漏仪处向远离检漏仪处逐点进行喷氦检查。3、检出的大漏孔要经修补后再去找小漏孔。4、当存在两个相距很近的可疑的漏孔点时，应先把一个点盖住，在对另一点用较细的喷口进行喷氦。5、当喷口喷在某一点时，如果，检漏仪上的显示有变化，其上升速度很慢且显示值不稳定表示邻近其它地方有很大漏孔。6、检出漏孔后，还应再做几次复检。7、检漏场地要有良好的通风条件，但也不能太大，不应影响喷口喷出的氦气气流的方向。氦质谱检漏仪可以切实提高汽泵小机真空系统的检漏效率。

氦质谱检漏仪背压法检漏的注意事项：检漏过程会有以下现象：1.氦质谱检漏仪只能检测微漏的工件；大漏的工件，在清氦过程，压入内部的氦气就可能泄露出来，在氦检时就检测不到氦气漏出。2.工件清氦后，放置待检时间不要超过1小时，防止压入的氦气漏出。3.实验测试时是单独检测工件；批量检测时检漏仪的本底值会成倍的大于单独检测的本底值。4.批量检测时，发现有漏件，可以逐渐减半的方式，找到具体的漏件。5.每次检测时，可以空检检漏罐并记录相应的漏率值，做为检测的对比参数。氦质谱检漏仪从以往的单方面领域的应用到现在多领域的应用，如：航空航天高科技工业、电力行业、电子行业、真空仪器仪表行业、核工业、制冷行业、不锈钢保温器皿等。氦质谱检漏仪检测时间和响应周期非常短，可以达到2s以内。嘉兴推车式氦质谱检漏仪定制

氦质谱仪检漏仪通常用于电子组件的背压检测。南京台式氦质谱检漏仪原理

氦质谱检漏仪可以切实提高汽泵小机真空系统的检漏效率，使用方法：把氦质谱检测仪与汽泵机组的真空系统连接，采取从真空系统外部对疑漏部位喷吹氦气的方法来检测该部位的漏率。在运行中真空泵的汽水分离器排气口处放置氦质谱检漏仪的探测口，将一定量的氦气释放于真空系统的焊缝、管路接头、法兰和阀门等可能泄漏的地方，通过观察仪器上的漏率显示数据区间来判断该位置是否存在泄漏，通过漏率数值大小确认该位置泄漏程度。通过氦质谱检漏试验，运行人员精确迅速找到机组真空漏点并及时联系相关部门进行安全有效处理，切实提高了机组的经济性和安全性。南京台式氦质谱检漏仪原理

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